Phenom ProX/Pro– 卓上走査型電子顕微鏡（卓上SEM）

Phenom
ProX/Pro

アメリカ：
サーモフィッシャーサイエンティフィック社

「見る」、「操る」、「測る」を極めた
究極の卓上SEM

目指したのは、誰もが簡単にスピーディーに高画質な画像を得ること。
観察+αで試料情報を最大限に引き出すこと。
全てはここからはじまりました。

特徴

CeB₆をもっと美しく
高画質観察を叶える、高輝度・長寿命のCeB₆電子銃を採用。
圧倒的な美しさを大画面フルスクリーンで体感できます。

反射電子像

高倍率で鮮明な反射電子像の観察が可能です。
チャージしやすい非導電性試料もコーティング無しで高画質観察が可能です。

酸化アルミニウム (Al2O3)：30,000倍、10 kV — 酸化アルミニウム (Al₂O₃)：30,000倍、10 kV

二次電子像（オプション）

高感度二次電子検出器を使用しており、高倍率で高精細な二次電子像の観察が可能です。サブミクロン粒子や材料表面の微細構造も捉えることが可能です。

高輝度・長寿命のCeB₆電子銃を採用

卓上SEMでは唯一、高画質観察が可能なCeB₆(六ホウ化セリウム)電子銃を採用しています。

特長

輝度が高く、ビーム径が細い。
寿命が長い。(約1,500時間)

どこでも美しい振動があっても像が乱れません

試料ホルダが、電子銃を含めたレンズ系の鏡筒に固定されるため、振動があってもSEM像が乱れません。高層ビルや幹線道路沿い、工場のライン沿いなど、振動のある場所でも除振台は不要です。どんな場所でも最高性能を発揮します。

観察条件を自由自在に設定

サンプルや観察目的に応じて加速電圧や電流値等の観察条件を設定可能です。

加速電圧：5 kV、10 kV、15 kV（アドバンス：4.8～20.5 kV）
スポットサイズ：4段階（アドバンス：カスタム設定）
低エミッション電流モード

例：ステンレスに付着した異物表面に付着した有機物は5 kVでは確認可能ですが、15 kVでは電子ビームの潜り込みが深いため確認できません。

反射電子像＋二次電子像をMix

試料の「組成情報」と「表面の微細な凹凸」を同時に観察できます。
反射電子像、二次電子像、Mix像の切り替えはワンクリックで可能です。

革新的なユーザーインターフェースで、もっと速く、もっとスマートに
ユーザーインターフェースが新しく生まれ変わりました。
試料導入から僅か30秒でSEM像を表示、そのままバリアフリーで分析へ。

ナビゲーションシステムで「迷わない」

観察位置を常に確認でき、迷いません。

自動ステージで「瞬時に移動」

画面をワンクリックするだけで次の観察位置へ移動できます。

リビジット機能で「すぐ戻れる」

気になる場所を登録、戻って再観察、再分析が可能です。

測定の流れ

観察からそのままEDS元素分析へ
CeB₆だから、高感度分析が可能です。

LiveEDS　“探しモノ”が必ず見つかる

観察時に、ワンクリックで気になった箇所のEDSスペクトルと検出元素を表示します。
点分析だからこそ、エリア全体のスペクトルでは埋もれてしまう微量成分も見逃しません。
“探しモノ”を瞬時に見つけ出すことができます。

点分析、ライン分析、マッピング

自動で定性・定量分析

スペクトルから自動でピークを検出し、定性分析、定量分析を行うことができます。ピークが重なる元素も自動で分離します。

直感操作でレポート作成まで

分析の経験に関係なく、解析からレポート作成までを簡単に行うことができます。

加速電圧20 kVに対応

15 kVに加えて、より高加速電圧が必要な分析にも対応します。
右のスペクトルは、鉛(Pb)を15 kVと20 kVで分析した例です。

結果の酸化物換算表示

検出された元素を酸化物に換算して表示することができます。

スペクトルの重ね合わせ・差スペクトルの表示

検出された元素を酸化物に換算して表示することができます。

観察+α、解析ソフトウェア

数値で評価したい！を叶えます。CeB₆だから、サブミクロンレベルの粒子や繊維の解析が可能です。

解析ソフトウェアの詳細ページ

粒子解析
細孔解析
繊維径、隙間面積
3D画像の構築、粗さ計測
自動画像マッピング

仕様

仕様表

		Phenom ProX	Phenom Pro
電子銃		CeB₆電子銃	CeB₆電子銃
分解能	反射電子	8 nm	8 nm
分解能	二次電子（オプション）	6 nm	6 nm
光学ナビゲーション倍率		27 ～ 160 倍（カラー）	27 ～ 160 倍（カラー）
電子顕微鏡倍率		160 ～ 350,000 倍	160 ～ 350,000 倍
デジタルズーム		12 倍	12 倍
反射電子検出器		標準	標準
二次電子検出器		オプション	オプション
EDS元素分析		標準	オプション
画像保存形式		JPEG、 TIFF、 PNG
自動ステージ		コンピュータ制御モーター駆動 XY ステージ
試料サイズ		直径： 25 mm （オプション： 32 mm）、高さ： 35 mm （オプション： 100 mm）
寸法、重量	顕微鏡本体	286（W） × 566（D） × 495（H）mm、 50 kg
	真空ポンプ	145（W） × 220（D） × 213（H）mm、 4.5 kg
	電源ボックス	260（W） × 300（D） × 80（H）mm、 2 kg
	PC	92.5（W） × 305.6（D） × 343.5（H）mm、 8 kg
	モニタ	531.5（W） × 250（D） × 515.4（H）mm、 6.7 kg
電源		単相 AC 100 V、 50 / 60 Hz、最大 348 W
解析ソフトウェア	標準	自動画像マッピング
解析ソフトウェア	オプション	パーティクルメトリックソフトウェア（粒子解析、細孔解析）、ファイバーメトリックソフトウェア（繊維解析）、 3Dラフネスソフトウェア（3D画像の構築、粗さ計測）