Phenom Pharos

アメリカ：サーモフィッシャーサイエンティフィック社

FE電子銃搭載、卓上SEM最高峰モデル

もっと見たい。 画質へのこだわりから誕生した世界初卓上FE-SEM。 
限られた環境で、スピードと高分解能が 必要とされるアプリケーションに。

特徴

FE電子銃で、ナノの世界へ

FE電子銃でさらに美しく

30秒で、分解能 < 2 nm

フロアモデルに迫る高分解能を、卓上SEMで実現しました。

試料導入からSEM像表示まで、僅か30秒。高画質観察を圧倒的スピード、簡単操作で実現します。

ナノ～サブミクロンレベルの解析を実現

観察だけでなく、”観察＋α” で一歩先の解析まで行うことが可能です。
微細粒子や繊維の解析が迅速に行えます。

パーティクルメトリックによる金粒子の解析例

ファイバーメトリックによる銀ナノロッドの解析例

世界初卓上FE-SEMによる走査透過電子顕微鏡観察（STEMホルダ）

電界放出型電子銃（FEG）を搭載した Phenom Pharos卓上FE-SEM専用の
STEMホルダで、世界初の卓上による走査透過電子顕微鏡観察を可能にしま
す。  
低電圧で高コントラストを実現し、微細構造や形態の高分解能観察が可能で
す。様々な材料に対応し、広範囲を低倍率から高倍率に変えて観察を行うこと
ができるため、サンプルのスクリーニングや結果の取得を迅速に行うことが可
能です。

カーボンナノチューブのSTEM像（上）とSED像（下）。
STEMの透過像では、カーボンナノチューブの核生成サイトが確認できます。

タバコモザイクウイルスを4種類のイメージングモードで観察した例。BF像ではウイルスが明確に確認でき、DF像ではリポイドが明確に観察できます。

革新的なユーザーインターフェースで、もっと速く、もっとスマートに
ユーザーインターフェースが新しく生まれ変わりました。
試料導入から僅か30秒でSEM像を表示、そのままバリアフリーで分析へ。

ナビゲーションシステムで「迷わない」

観察位置を常に確認でき、迷いません。

自動ステージで「瞬時に移動」

画面をワンクリックするだけで次の観察位置へ移動できます。

リビジット機能で「すぐ戻れる」

気になる場所を登録、戻って再観察、再分析が可能です。

測定の流れ

観察からそのままEDS元素分析へ
CeB₆だから、高感度分析が可能です。

LiveEDS　“探しモノ”が必ず見つかる

観察時に、ワンクリックで気になった箇所のEDSスペクトルと検出元素を表示します。
点分析だからこそ、エリア全体のスペクトルでは埋もれてしまう微量成分も見逃しません。
“探しモノ”を瞬時に見つけ出すことができます。

点分析、ライン分析、マッピング

自動で定性・定量分析

スペクトルから自動でピークを検出し、定性分析、定量分析を行うことができます。ピークが重なる元素も自動で分離します。

直感操作でレポート作成まで

分析の経験に関係なく、解析からレポート作成までを簡単に行うことができます。

加速電圧20 kVに対応

15 kVに加えて、より高加速電圧が必要な分析にも対応します。
右のスペクトルは、鉛(Pb)を15 kVと20 kVで分析した例です。

結果の酸化物換算表示

検出された元素を酸化物に換算して表示することができます。

スペクトルの重ね合わせ・差スペクトルの表示

検出された元素を酸化物に換算して表示することができます。

観察+α、解析ソフトウェア

数値で評価したい！を叶えます。CeB₆だから、サブミクロンレベルの粒子や繊維の解析が可能です。

解析ソフトウェアの詳細ページ

粒子解析
細孔解析
繊維径、隙間面積
3D画像の構築、粗さ計測
自動画像マッピング

仕様

		Phenom Pharos
電子銃		ショットキー型FE電子銃
分解能	反射電子	3 nm（加速電圧：20 kV）
	二次電子（オプション）	2 nm（加速電圧：20 kV）、10 nm（加速電圧：3 kV）
光学ナビゲーション倍率		27 ～ 160 倍（カラー）
電子顕微鏡倍率		最大 2,000,000 倍
デジタルズーム		12 倍
加速電圧		5 kV、10 kV、15 kV（アドバンスモード：1 kV ～ 20 kV）
反射電子検出器		標準
二次電子検出器		オプション
EDS元素分析		オプション
画像保存形式		JPEG、 TIFF、 PNG
自動ステージ		コンピュータ制御モーター駆動 XY ステージ
試料サイズ		直径： 25 mm （オプション： 32 mm）、高さ： 35 mm （オプション： 100 mm）
寸法、重量	顕微鏡本体	360（W） × 580（D） × 590（H）mm、 75 kg
	真空ポンプ	145（W） × 220（D） × 213（H）mm、 4.5 kg
	電源ボックス	230（W） × 255（D） × 75（H）mm、 4.3 kg、（UPS使用　寸法：530（W） × 210（D） × 500（H）mm、 25.2 kg）
	PC	92.5（W） × 305.6（D） × 343.5（H）mm、 8 kg
	モニタ	531.5（W） × 250（D） × 515.4（H）mm、 6.7 kg
電源		単相 AC 100 V、 50 / 60 Hz、最大 378 W
解析ソフトウェア	標準	自動画像マッピング
	オプション	パーティクルメトリックソフトウェア（粒子解析、細孔解析）、ファイバーメトリックソフトウェア（繊維解析）、 3Dラフネスソフトウェア（3D画像の構築、粗さ計測）