特徴

究極のハード+究極のブレイン

生まれたのは究極の全自動粒子解析システム。Phenom ParticleXは、粒子を測るために生まれました。粒子の検出からサイズ・形状計測、元素分析、分類、レポート作成まで完全自動化。

求められるのは、

• 粒子を捉える「高画質」、
• 数千～数万個の粒子を解析する「スピード」、
• 測定の「再現性」。

高輝度・長寿命のCeB₆電子銃、徹底的に無駄を削ぎ落したシンプルな光学系、スマートなアルゴリズムを備えたPhenom ParticleXだからこそ、全自動粒子解析で求められるこれら3つの性能を実現します。

長年のノウハウを受け継ぐスマートな粒子解析アルゴリズム

自動粒子解析専用ソフトウェア　Perception

ASPEXからExplorer、Phenom ParticleXへと受け継がれたスマートなアルゴリズムで粒子の検出から、サイズ・形状計測、元素分析、分類、レポート作成までを完全自動化。1秒1粒子！予め作成した測定レシピに従って良質なデータを高速、高精度に取得します。測定レシピやレポートは自由自在にカスタマイズ可能、多才な機能で測定をサポートします。

・測定レシピの作成

　倍率、検出粒子サイズ、EDS分析時間など、測定条件を設定します。

・自動粒子解析

　視野をスキャンしながら、粒子の検出、サイズ・形状計測、元素分析を行います。

・解析結果の閲覧

　全粒子のサイズ・形状情報、組成情報を確認できます。気になる粒子に戻って再観察、再分析が可能です。

自動解析専用ソフトウェア Perceptionで粒子を検出している様子（動画）

ラインナップ

仕様

		Phenom ParticleX（TC / Battery / AM / Steel）、 Phenom Perception GSR
電子銃		CeB6電子銃
分解能	反射電子	10 nm
	二次電子（オプション）	10 nm
光学ナビゲーション倍率		3 ～ 16 倍（カラー）
電子顕微鏡倍率		160 ～ 200,000 倍
デジタルズーム		12 倍
加速電圧		5 kV、10 kV、15 kV（アドバンスモード：4.8 kV ～ 20.5 kV）
反射電子検出器		標準
二次電子検出器		オプション
EDS元素分析		標準
画像保存形式		JPEG、 TIFF、 PNG
自動ステージ		コンピュータ制御モーター駆動 XY ステージ
試料サイズ		100 × 100 mm （12.5 mmのピンスタブが最大36個）、 高さ ： 40 mm
走査範囲		100 × 100 mm
寸法、重量	顕微鏡本体	316（W） × 587（D） × 625（H）mm、 75 kg
	真空ポンプ	145（W） × 220（D） × 213（H）mm、 4.5 kg
	電源ボックス	260（W） × 300（D） ×  80（H）mm、 2 kg
	PC	92.5（W） × 305.6（D） × 343.5（H）mm、 8 kg
	モニタ	531.5（W） × 250（D） × 515.4（H）mm、 6.7 kg
電源		単相  AC 100 V、 50 / 60 Hz、 最大 348 W
制御用ソフトウェア	標準	Perception（全自動粒子解析）
	標準	Phenomユーザーインターフェース（SEM観察、EDS元素分析）
解析ソフトウェア	標準	自動画像マッピング
	オプション	パーティクルメトリックソフトウェア（粒子解析、細孔解析）、 ファイバーメトリックソフトウェア（繊維解析）、 3Dラフネスソフトウェア（3D画像の構築、粗さ計測）

アプリケーションノート

ウェビナー情報

カタログ